НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
ru Русский
Версия для слабовидящих
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Подать статью

Статьи по ключевому слову "ионно-стимулированное осаждение"

Изготовление наноразмерных структур методом ионно-стимулированного осаждения материалов и изучение их электрических свойств

Физическое материаловедение
Котосонова А.В. Коломийцев А.С. Соболева О.И.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.2
  • 7
  • 2733
  • Страницы: 218-223

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: