НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "плазмохимическая обработка"

Влияние плазмохимической обработки подложек Si(001) на последующий эпитаксиальный рост GaAs

Физика конденсированного состояния
Ерёменко М.М. Никитина Л.С. Житяева Ю.Ю. Лахина Е.А. Климин В.С. Агеев О.А.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 21
  • 3684
  • Страницы: 122-127