НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
ru Русский
Версия для слабовидящих
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Подать статью

Статьи по ключевому слову "моделирование фотолитографии"

Модель шероховатости для расчета оптических потерь в фотонных интегральных схемах

Математическое моделирование физических процессов
Шамин Е.С. Шарапов А.А. Скуратов И.Д. Демидов С.О. Горнев Е.С.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 23
  • 4085
  • Страницы: 70-75

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: