Модель шероховатости для расчета оптических потерь в фотонных интегральных схемах

Математическое моделирование физических процессов
Авторы:
Аннотация:

Оптические потери радиофотонных схем является одним из важнейших показателей качества их работы. Среди множества эффектов, влияющих на оптические потери, можно выделить шероховатость боковых стенок оптических элементов таких схем (далее шероховатость). В данной работе предлагается к рассмотрению высокоэффективная модель появления шероховатости, состоящая из расчета оптической части  фотолитографии, а также имитационного моделирования резиста. Описаны принципы функционирования и особенности реализации представленной модели. Продемонстрированы результаты моделирования, полученные с помощью новой модели шероховатости, а также предложен метод их экспериментальной верификации. Приводится теоретическая оценка потерь в волноводной структуре, связанных с шероховатостью.