Компактный МЭМС-переключатель на основе кантилевера с тремя упругими элементами
Авторы:
Аннотация:
МЭМС-переключатели представляют значительный интерес для перспективных радиоэлектронных систем. Высокие СВЧ характеристики в сочетании с малым размером и низким энергопотреблением делают их перспективными для использования в фазированных антенных решетках, устройствах беспроводной связи и навигационных системах. В работе представлен резистивный переключатель на основе кантилевера с тремя упругими элементами. Измерено его напряжение срабатывания и контактное сопротивление, результаты сопоставлены с расчетными значениями. Продемонстрировано снижение контактного сопротивления по сравнению с ранее созданными переключателями.