Влияние режима роста на транспортные свойства легированных плёнок Mg2Si

Физика конденсированного состояния
Авторы:
Субботин Е.Ю. Удилов А.Д. Прокопьева Г.А. Горошко Д.Л. Козлов А.Г. Чернев И.М. Лисенков О.Е. Хорошилов Д.А. Синотова С.А. Галкин Н.Г.
Аннотация:

В работе исследованы транспортные свойства легированной пленки Mg2Si на кремниевой подложке. Пленка была сформирована в условиях сверхвысокого вакуума методом твердофазной эпитаксии, ее толщина составляет ~1 мкм. В качестве легирующей примеси было выбрано хорошо зарекомендовавшее себя серебро. Подвижность носителей заряда составила 327 см2/ (Вxс), концентрация носителей — 9.3×1015 см-3.