Технологический процесс изготовления газочувствительного мультисенсорного чипа на основе пассивирующего покрытия наностержней оксида цинка, полученных по тонкопленочной технологии
Авторы:
Аннотация:
Представлен способ изготовления газоаналитического мультисенсорного чипа. Описан технологический процесс изготовления с дополнительным слоем SiO2. Установлено, что конструкция экспериментального образца мультисенсорного чипа и технология синтеза низкоразмерных газочувствительных слоев обеспечивают чувствительность к детектируемым газам до 1 ppm и позволяют повысить быстродействие и временную стабильность.