НТВ Физико-математические науки
    Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические наукиCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
    Издается с 2008
    ISSN 2304-9782
    ISSN 2618-8686
    ISSN 2405-7223
    ruРусский
    Версия для слабовидящих
    Подать статью

    Статьи по ключевому слову "технологический процесс"

    Технологический процесс изготовления газочувствительного мультисенсорного чипа на основе пассивирующего покрытия наностержней оксида цинка, полученных по тонкопленочной технологии

    Физическая электроника
    Шепелева А.Э.Гурин С.А.Новичков М.Д.Агафонов Д.В.Печерская Е.А.Зуев В.Д.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 2
    • 596
    • Страницы: 187-190