МЭМС-переключатель с дополнительным электродом для систем высокоскоростной связи

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

МЭМС-переключатели рассматриваются в качестве основы перспективной элементной базы СВЧ-электроники, но к настоящему времени их характеристики не достигли нужного уровня. Отношение емкостей в разомкнутом и замкнутом состояниях не превышает 10 и требует увеличения. Один из способов заключается в нанесении дополнительного электрода на диэлектрическое покрытие линии передач. В настоящей работе представлен МЭМС-переключатель с дополнительным электродом, предназначенный для работы в сетях связи 5G.