Формирование графеноподобной проводящей пленки на поверхности карбида кремния методом лазерной деструкции кремния

Данное исследование посвящено формированию проводящих графеноподобных слоев на поверхности карбида кремния методом лазерного удаления кремния в локальных зонах. В работе продемонстрировано влияние частоты импульсов лазерной системы на толщину и электропроводность образующегося проводящего графеноподобного слоя на пластине карбида кремния. Кроме того, определены оптимальные параметры для получения проводящего покрытия и требуемой шероховатости поверхности, пригодных для проектирования антенных устройств. В частности, при частоте 100 кГц были получены проводящие пленки графена покрытия
толщиной 6,5 мкм, при этом модифицированная зона составила 93% от общей площади воздействия. Толщина проводящего слоя в локальной зоне, обработанной при частоте 40 кГц, достигала 5 мкм, а при частоте 120 кГц — 7 мкм. Полученные результаты демонстрируют потенциал для разработки и создания сенсорных элементов, устройств оптоэлектроники и фотоники.