Низкотемпературная обработка нанослоев Al/Ti для формирования твердого раствора с целью улучшения процесса создания омических контактов

Физическое материаловедение
Авторы:
Никитин Константин Германович Барсуков Леонтий Александрович Ромашкин Алексей Валентинович Трифонов Алексей Юрьевич Можчиль Раис Николаевич Протасова Светлана Георгиевна
Аннотация:

Исследована термообработка при 450 °C нанослоев Al, Al/Ti и Au/Ni/Al/Ti с анализом их прозрачности, удельного сопротивления, а также с применением ВИМС (вторично-ионная масс спектрометрия) и РФЭС  (рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия). Термообработка привела к увеличению прозрачности и сопротивления пленок Al/Ti. Аналогичная обработка чистого Al, напротив, снизила сопротивление, но  увеличила прозрачность за счет частичного окисления. Верхний слой Au/Ni обусловливает более сильные изменения прозрачности и сопротивления, вероятно, из-за большей степени окисления, подтвержденной  РФЭС. Однако общие изменения прозрачности и проводимости структуры слоев Al/Ti могут быть объяснены частично окислением, и частичным формированием твердого раствора Ti-Al, подтвержденным перераспределением Ti и Al по ВИМС. Таким образом, предложена возможность снижения температуры формирования, окисления и улучшения омических контактов к GaN HEMT для таких слоев.