Микроструктура и сегнетоэлектрические свойства субмикронных поликристаллических пленок цирконата титаната свинца с градиентным распределением состава по толщине

В работе представлены результаты исследований двухслойных тонких сегнетоэлектрических пленок ЦТС с изменением содержания свинца по толщине пленок, полученных ВЧ-магнетронным напылением при  различных давлениях рабочей газовой смеси. Микроструктуру и элементный состав исследовали методами сканирующей электронной микроскопии и электронно-зондового рентгеновского микроанализа. Показано, что элементный состав и диэлектрические свойства зависят от последовательности нанесения слоев. Полученные результаты позволяют охарактеризовать физический механизм формирования самополяризации в тонких пленках ЦТС.