Длина релаксации энергии электрона и проблема локальности распределения электронов по энергиям в плазме тлеющего разряда в смеси ксенон-хлор

На основе вероятностного подхода выполнены аналитические расчеты длины релаксации энергии электрона, а также численные расчеты влияния нелокальности на скорости плазмохимических процессов в электроотрицательном разряде в смеси ксенона и хлора. Показано, что при общем давлении более 6 торр и при доле хлора более 1/25 влияние нелокальности энергетического распределения электронов пренебрежимо мало, и для моделирования таких разрядов можно пользоваться локальным приближением.