Особенности образования дефектов в кремнии при бомбардировке молекулярными ионами

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

В статье рассмотрен молекулярный эффект при бомбардировке кремния ускоренными атомарными и молекулярными ионами различных энергий. Изложены физические механизмы данного эффекта. Описаны результатыэкспериментальных исследований и компьютерного моделирования бомбардировки кремния ионами Р+ и PF+4.