НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
ru Русский
Версия для слабовидящих
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Подать статью

Статьи по ключевому слову "напыление под углом"

Рост наноструктурированной плёнки кобальта при наклонном напылении

Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
Фаттахов И.С. Трушин О.С. Попов А.А. Мазалецкий Л.А.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.3
  • 15
  • 3879
  • Страницы: 97-100

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: