НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "мощное импульсное магнетронное напыление"

Новые методы синтеза высококачественных тонких пленок с помощью короткого и ультракороткого мощного импульсного магнетронного распыления

Физика конденсированного состояния
Кожевников В.Ю. Оскирко В.О. Работкин С.В. Павлов А.П. Семёнов В.А. Соловьёв А.А. Гренадёров А.С. Захаров А.Н.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 6
  • 1443
  • Страницы: 26-30