Расчет объема нано- и микроструктур, образующихся на поверхности PbTe при ионно-плазменной обработке с использованием машинного обучения

Формирование нано- и микроструктур на поверхности пленок PbTe при низкоэнергетической ионно-плазменной обработке изучалось с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) в сочетании с анализом изображений на основе машинного обучения. Пленки PbTe с кристаллографической ориентацией (111) подвергались воздействию аргоновой плазмы при энергии ионов около 25 эВ при вариации времени (60−240 с). СЭМ-визуализация под углом наклона 70° позволила провести трехмерную оценку размеров сформированных структур, что вместе с автоматизированной обработкой изображений с использованием сервиса глубокого обучения DLgram⁰¹ позволило точно рассчитать количество частиц, площадь, высоту и объем. В данной работе проведен сравнительный анализ параметров структур Pb на поверхности пленок теллурида свинца с ориентацией (111) и монокристаллов PbTe с ориентацией (100). Данное исследование демонстрирует эффективность машинного обучения для количественного анализа поверхностных наноструктур после обработки поверхности PbTe низкоэнергетической аргоновой плазмой.