Исследование и разработка технологии синтеза напыления пьезоэлектрических тонких пленок BaTiO3 для датчика быстропеременных и статических давлений
Авторы:
Аннотация:
Изучены перспективы создания гетероструктур, на основе сегнетоэлектрических материалов. Выявлены наиболее подходящие технологические параметры для формирования данных структур. Проведен детальный анализ кристаллического строения полученных сегнетоэлектрических пленок. Установлено, что в момент напыления, при создании тонкопленочных многослойных систем с температурой чувствительного элемента (ЧЭ) выше 700 °C, перовскитный слой теряет свои сегнетоэлектрические характеристики.