Долговременная температурная стабильность многослойных электродов на основе золота для работы в газовых датчиках

Исследована долговременная стабильность микронагревателей резистивных газовых сенсоров. Микронагреватели создавались в виде многослойной металлизации на мембране оксида кремния. Изучено поведение стеков Cr/Au/Cr и Cr/Ni/Au как открытых, так и закрытых сверху слоем SiO₂. Сопротивление стека Cr/Ni/Au стабилизируется через 15 часов выдержки вследствие вжигания золота в хромоникелевый подслой. Дальнейший дрейф сопротивления при длительной эксплуатации при 350 °C составляет менее 7%, при 500 °C — 12% за 48 часов непрерывной работы. Металлизация Cr/Au/Cr не может быть использована в высокотемпературных сенсорах, поскольку существенно деградирует уже при 300 °C. Покрытие нагревателя оксидом кремния
не сказывается на его поведении на начальной стадии формования и улучшает долговременную стабильность.