Изучение низкотемпературного реактивного магнетронного распыления пленок NbN для изготовления детектора с высокой чувствительностью

Сверхпроводящие пленки NbN, изготовленные методом реактивного магнетронного распыления, являются чувствительным элементом болометров на эффекте электронного разогрева HEB. Основной принцип HEB устройств основан на свойстве сверхпроводимости, которое проявляется при понижении температуры детектора до температуры жидкого гелия. В таком состоянии детектор очень чувствителен к инфракрасному и миллиметровому диапазону волн, характерному для излучения многих элементов в нашей вселенной. Данная работа посвящена повышению чувствительности болометров на эффекте электронного разогрева благодаря уменьшению толщины пленки NbN при сохранении максимально возможной температуры сверхпроводящего перехода.