Моделирование диффузии примеси меди в гексагональном рутении из первых принципов

Математическое моделирование физических процессов
Авторы:
Горохов С.А. Резник А.А. Резванов А.А.
Аннотация:

Рутений является перспективным материалом для применения в микроэлектронике в качестве диффузионного барьерного слоя, предотвращающего диффузию меди. Однако диффузия каких-либо примесей в объеме гексагонального рутения теоретически мало изучена, и соответствующие коэффициенты диффузии отсутствуют в литературе. В данной работе проводится исследование из первых принципов диффузии примеси меди в объеме гексагонального рутения.