Лазерная полировка стальной поверхности для микрофлюидных применений

Физическая оптика
Авторы:
Лавриненко В.В. Васильева А.В. Парфенов В.А.
Аннотация:

В статье рассмотрены различные режимы лазерной полировки поверхности нержавеющей стали с целью снижения шероховатости поверхности для создания модельных микроканавок, соответствующих элементам микрофлюидной топологии. Рассмотрен эффект образования оксидной пленки и ее влияние на шероховатость обработанной области. Полученные данные подтверждены измерениями с помощью профилометра.