Осаждение меди на пористом кремнии методом вакуумно-термического напыления
Авторы:
Аннотация:
Методами атомно-силовой микроскопии, инфракрасной и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии получены данные о морфологии и составе образцов пористого кремния с вакуумно-термическим напылением меди. Исследования показали, что нанокомпозиты, полученные с использованием данного метода, содержат как металлическую медь, так и оксид меди. Полученные результаты свидетельствуют о том, что вакуумно-термическое осаждение меди способствует эффективному проникновению этого элемента в пористую структуру кремния и замедляет процесс окисления пористого слоя при длительном хранении в атмосферных условиях.