Влияние функциональных подслоев на характеристики напыляемых алмазоподобных углеродных покрытий
Авторы:
Аннотация:
Методами спектроскопии комбинационного рассеяния света, спектрофотометрии и атомно-силовой микроскопии исследованы DLC покрытия, осаждаемые методом PLD. Изучено влияние материала используемых функциональных подслоев (Ti, Cr) на структурные и оптические характеристики, а также состояние поверхности нанесенных DLC покрытий.