Микроэлектромеханический газовый датчик резистивного типа для определения низких концентраций сероводорода

Физическая электроника
Авторы:
Лаздин Илья Александрович Кондратьева Анастасия Сергеевна Комаревцев Иван Михайлович Эннс Яков Борисович Казакин Алексей Николаевич Карасёв Платон Александрович
Аннотация:

В работе предложена технология формирования резистивного МЭМС датчика сероводорода. В качестве газочувствительного материала выбран оксид никеля, способный к изменению своей проводимости при сорбции  сероводорода, даже в присутствии паров воды. В работе показано влияние введения в исследуемый газовый поток от 1 до 100 ppm H2S на электрический отклик МЭМС датчика.