Компактный МЭМС-переключатель для перспективных радиолокационных систем

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

МЭМС-переключатели представляют значительный интерес для перспективных радиоэлектронных систем. Высокие СВЧ характеристики в сочетании с малым размером и низким энергопотреблением делают их  привлекательными для использования в фазированных антенных решетках, авиационных и космических радиосистемах. В этой работе представлен ключ на основе миниатюрного кантилевера длиной 50 мкм.  Выполнено сравнение его рабочих характеристик с результатами расчетов. Продемонстрированы достоинства ключа в сравнении с ранее созданными изделиями.