Сравнительный анализ эффективности прозрачных токопроводящих покрытий на основе различных материалов

Прозрачные проводящие оксиды – материалы, которые в основном используются в качестве прозрачного электрода, но также нашли применение в оптике, фотонике и приборостроении. В качестве материалов  рассмотрены оксид индия, легированный оловом, оксид олова, легированный фтором и сурьмой, оксид цинка, легированный алюминием и галлием, оксид галлия, легированный индием и сурьмой. Предложена  методика обоснованного выбора оптимального прозрачного проводящего оксида как по наибольшей технологической эффективности, так и по технико-экономической эффективности с учетом технологических  параметров и затрат на получение тонкопленочного покрытия.