Влияние наночастиц благородных металлов на магнетронное распыление оксидов переходных металлов
Целью данной работы является изучение особенностей формирования оксидов переходных металлов с металлическими наночастицами. Предложена технология формирования материалов, состоящая из магнетронного напыления оксидной матрицы, термокоагуляции наночастиц благородных металлов и покрытия их оксидом. В качестве исследуемых материалов использовались наночастицы золота, оксиды никеля и титана. Обнаружен металлоиндуцированный каталитический рост оксидов никеля и титана на наночастицах золота. Показано, что образующийся верхний слой имеет ярко выраженную текстуру. В процессе образуются конусы с углом раскрытия 10–12° и преимущественным направлением роста, совпадающим с кристаллографической осью, перпендикулярной поверхности (111). Исследованы оптические и электрические характеристики сформированных покрытий. Полученные результаты указывают на широкую перспективу использования сформированных структур в области интегральных оптоэлектронных устройств.