Пористость и морфология поверхности слоев селенида свинца – селенида олова на кремниевых подложках по данным рентгено-дифракционных исследований

В работе методом рентгеновской рефлектометрии проведено исследование величины пористости и морфологии поверхности пленок Pb0,97Sn0,03Se на кремниевых подложках, подвергнутых анодному электрохимическому травлению в электролите Томпкинса – Джонсона при плотности тока 1 мА/см2. Для уменьшения расхождения по параметру решетки растущей пленки применялись буферные слои CaF2 (толщина около 2 нм) и PbSe (около 400 нм). Определена усредненная толщина приповерхностного слоя переосажденного селена (45 нм), получено качественное соответствие между результатами рентгеновских и электронно-микроскопических исследований. Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии установлено, что при электрохимическом травлении формируется макропористая структура с поперечными и продольными проекциями пор размерами 47 и 82 нм соответственно. Определен угол наклона пор к нормали поверхности; он составил 34,5 град. Показаны возможности применения рентгеновских методов высокого разрешения для неразрушающего исследования структуры пористых материалов.

Ссылка при цитировании: Мамонтов А.И., Петраков А.П., Зимин С.П. Пористость и морфология поверхности слоев селенида свинца – селенида олова на кремниевых подложках по данным рентгено-дифракционных исследований // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. 2018. Т. 11. № 1. С. 102 – 111. DOI: 10.18721/JPM.11110