Улучшение и стабилизация оптических характеристик пористого кремния

Физическое материаловедение
Авторы:
Аннотация:

Предложен способ стабилизации оптических характеристик пористого кремния, изготовленного методом анодного электрохимического окисления. Проведен анализ спектров фотолюминесценции и комбинационного рассеяния света пленок пористого кремния. Установлено, что наилучшие оптические характеристики достигаются при изготовлении образцов в электролите, содержащем водный раствор KMnO4, и в отсутствие освещения кремниевой пластины.