Связь параметров плазмы поперечного емкостного высокочастотного разряда в узком капилляре с его радиофизическими характеристиками
Авторы:
Аннотация:
Существующая простая одномерная модель поперечного ВЧ разряда, разработанная для плоской его геометрии, модифицирована для двумерного разряда в узком диэлектрическом капилляре круглого сечения, расположенного между двумя плоскопараллельными электродами. Получена количественная связь между поглощенной плазмой разряда ВЧ мощностью и абсолютными величинами электронной концентрации и электрического поля в плазме. Приведены результаты обработки эксперимента для разряда в смеси 8 Тор Кr и 2 Тор Сl2.